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KRI 考夫曼离子束中和器
一般使用宽束的工业用KRI离子源，都会使用中和器来达到使用激发电子中和离子的目的。常用来做中和器的像是热灯丝，电浆桥，或是中空阴极。图1的架构可适用于有栅极及无栅极的离子源上。若是应用在无栅极的离子源上，中和器称为阴极中和器。标的物可以是溅镀的靶材或是要被蚀刻的基材。在图1的架构上安装一个电压计，当作中和化的探针。
KRI 考夫曼离子源典型应用 IBF 离子束抛光工艺
离子束抛光加工IonBeamFiguring,IBF已逐渐成为光学零件表面超精加工常用的后一工艺,离子源是离子束抛光机的核心部件.上海伯东美国KRI直流电源式考夫曼离子源KDC系列成功应用于光学镀膜离子束抛光机IBFOpticalcoating及晶体硅片离子束抛光机IBFClrystalline)工艺.
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