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HAST试验箱在芯片可靠性测试中的应用方案

本方案描述了HAST试验箱用于芯片耐湿可靠性测试的完整流程,涵盖目的、设备、样品、步骤、条件及结果判定,适用于封装防潮性能验证。

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化合物半导体MOCVD外延设备前驱体气体浓度在线监测解决方案

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强加速稳态湿热试验(HAST)用于快速评估塑封半导体器件在潮湿环境下的可靠性。本方案采用两种等效加速条件:130℃/85%RH持续96小时,或110℃/85%RH持续264小时,其应力水平等效于标准85℃/85%RH试验1000小时(激活能Ea=0.65eV)。试验在可精确控制温湿度和蒸汽压的HAST试验箱中进行,样品需先干燥并完成初始电参数测试。

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